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    包郵 關注:341

    CMP拋光液

    產品品牌

    百特

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-山東省

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    客服電話:4001027270

    品牌:百特

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備耗材-減薄拋光耗材-拋光液/粉


    CMP拋光液


    一.應用領域

      用于單晶硅、多晶硅、藍寶石、液晶玻璃、鏡頭等拋光。

     

      二.產品特點

       1.采用嚴格的粒徑控制工藝,具有純度高、粒徑均勻、易清洗、無橘皮、無霧化現象、拋光速率高、損傷層小等優(yōu)點。

       2.可直接稀釋使用,對拋光設備無腐蝕。

     

      三.性能指標

    指標名稱

    型號及標準

    CMP30

    CMP50

    CMP80

    CMP100

    CMP150

    粒徑(nm)

    20-40

    40-60

    60-90

    100-130

    140-170

    外觀

    乳白

    SiO2含量(重量)

    30~40%

    分散介質

    pH值

    2-11可調

    保質期(月)

    ≥12

     

      四.使用方法

       1.可根據拋光操作條件用去離子水進行稀釋。

       2.稀釋后,粗拋時調節(jié)pH至11左右,精拋時調節(jié)pH至9.5左右。pH調節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分攪拌下慢慢加入。

       3.循環(huán)拋光可以用原液。

     

      包裝及儲存

       1.采用聚乙烯塑料桶包裝,主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg、1000Kg。

       2.避免曝曬,貯存溫度為5-40℃,低于0℃則產生凍膠而報廢。

       3.避免敞口長期與空氣接觸。

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