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    包郵 關注:617

    精密研磨系統(tǒng)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

    規(guī)格型號:

    Gnad61

    發(fā)貨期限:

    3個月天

    庫       存:

    2

    產       地:

    英國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:

    型號:Gnad61

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機






    詳細描述:
    1.加工樣品尺寸8英寸及以下尺寸樣品
    2.可磨拋樣品數量設備具有1個工位,最大可以加工8英寸樣品.
    3.可加工樣品種類Si,SiC, GaAs, InP,CZT, MCT等多種半導體材料
    4.整機防腐蝕,適用CMP應用設備主機及所有零部件耐腐蝕,適用CMP應用
    5.設備工作時間,磨拋盤轉速,樣品固定系統(tǒng)驅動轉速及擺幅等參數采用精確數控,所有參數具有數據存儲及記憶功能。所有控制系統(tǒng)部件上置于磨拋工作區(qū)域,以避免磨拋工作過程中磨拋廢料滲漏腐蝕操控系統(tǒng)。

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