蘇州晶淼推出的此硅片光刻清洗機(jī)適用于4-8英寸半導(dǎo)體硅片清洗工藝。整機(jī)由機(jī)臺(tái)、清洗槽體、溫度控制系統(tǒng)、機(jī)臺(tái)照明、電氣控制系統(tǒng)等組成。機(jī)身包板為德國(guó)PP板,整潔美觀。DIW管路、氮?dú)猓∟
2)管路、潔凈空氣管路、自來(lái)水管、 藥液排放管、排氣管路、 排水管布局簡(jiǎn)潔合理。配有美國(guó)進(jìn)口氮**和**。電控部分為正壓保護(hù)方式,配有緊急停機(jī)及報(bào)警裝置。