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    雙溫區(qū)管式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

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    加熱控制性能

    1、電源電壓：220V

    2、加熱功率：2KW+2KW

    3、加熱元件：高溫合金絲

    4、控制方式：采用進口微電腦溫控儀表，PID參數(shù)自整定功能，手動/自動無干擾切換功能，超溫報警功能.可編程2組16個時段,可滿足連續(xù)恒溫和控溫要求。設(shè)計兩段溫度控制系統(tǒng)，兩個溫控儀表，兩個溫控?zé)犭娕迹總€系統(tǒng)可獨立控溫。

    5、控制精度：±1℃
    其它性能

    1、爐體結(jié)構(gòu)：一體式結(jié)構(gòu)，雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱

    2、測溫方式：S型鉑銠熱電偶

    3、真空性能：爐管兩端配置不銹鋼密封法蘭，高溫PTFE密封圈，不銹鋼法蘭上裝有真空抽氣口和真空壓力表，可在真空下進行樣品的燒結(jié)熱處理，極限真空度1pa

    4、氣氛性能:爐管兩端有進氣口和出氣口，閥門控制，可通入惰性保護氣體，耐壓0.16Mpa

    5、爐膛采用高純氧化鋁纖維，硬度高、高溫不掉粉、高溫?zé)Y(jié)無揮發(fā)，環(huán)保安全

    6、采用優(yōu)質(zhì)電阻絲，電阻絲設(shè)計在爐膛周圍，溫場均勻性好

    四、備品、配件

    1、高溫手套一副

    2、爐鉤一把

    3、使用說明書

    4、保修卡

    5、合格證

     


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