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　曝光場面積：10mm×10mm

分辨力：1μm；

照明不均勻性：±2%

物鏡倍率：5倍(縮小)

光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）

基片尺寸：3 英寸、4 英寸

工件臺運動范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；

工件臺運動定位精度：±0.65μm

調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm

對準(zhǔn)精度：±0.5μm

調(diào)焦臺運動行程：5mm

檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米

轉(zhuǎn)動臺行程：±4°以上

基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm

主要技術(shù)配置：

（1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺; 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇

（2）工件臺系統(tǒng)：X臺：電機驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國） Y臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國）轉(zhuǎn)動臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動軸系調(diào)平臺：電機及驅(qū)動器（3套）、調(diào)平機構(gòu) Z臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機構(gòu); 承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件

（4）對準(zhǔn)系統(tǒng)：對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對準(zhǔn)軟件

（5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、顯示器、接口

（6）其他部件：底座減震器（4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件：真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺（靜音泵）;管道

TYG-2000/T1步進投影光刻機鑫有研電子科技有限公司

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