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    包郵 關注:405

    HXMF05系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計/控制器

    應用于半導體行業(yè):

    半導體器件-MFC-無毒氣體類

    產(chǎn)品品牌

    華旭世紀

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:華旭世紀

    型號:

    所屬系列:半導體器件-MFC-無毒氣體類

     ::產(chǎn)品描述::

     

    北京華旭世紀HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,采用了數(shù)字式技術,相比模擬技術,HXMF05系列產(chǎn)品提高了精度和數(shù)字化程度。它采用了毛細管熱傳感技術和熱溫差原理,來測量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關,因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。

        HXMF05系列小流量熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品,采用了緊湊型設計,體積小巧精致,產(chǎn)品堅固耐用。產(chǎn)品使用了線性化校正電路和EMI保護,具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長等特點。

        在數(shù)據(jù)傳輸上,不但具備傳統(tǒng)的有線式,還具備局域網(wǎng)無線傳輸數(shù)據(jù),互聯(lián)網(wǎng)遠程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺等強大功能。

     

     

    ::產(chǎn)品特色::

     

    ● 數(shù)字化技術,更快速的響應時間

    ● 優(yōu)于1%FS的高精度

    ● 出色的長期穩(wěn)定性

    ● 可測量腐蝕性氣體,堅固耐用

    ● 精巧的外觀設計,全面的安全保護電路及EMI

    ● 可配專用顯示表,顯示瞬時流量

    ● 諸多選項:高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸

                遠程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺、短信報警、郵件報警等

     

     

    ::典型應用::

     

    · 光伏及晶體制備   · 真空行業(yè)及鍍膜   · 泄漏檢測

    · 爐窯及微反應裝置   · 半導體行業(yè)   · 大學/研究所

    · 分析儀器   · 氣體混合配比   · 計量及計價

    · 燃料電池   · 燃燒測試   · 其它氣體測控場合

     

     

    ::性能指標::

     

    介質(zhì)要求:與介質(zhì)兼容的氣體,支持腐蝕性氣體

    介質(zhì)種類:客戶指定,也可現(xiàn)場更改-需咨詢我們

    標定工況:0℃ @ 1 atm(氮氣)

    測控量程:從0~5sccm到0~250slm任選,可定制更高流量范圍

    量程比:50:1

    精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取數(shù)值大者(FS-滿量程 RD-讀數(shù))

    重復性:±0.2%F.S.

    流量分辨率:0.1%F.S.

    響應時間:1.5S

    閥門狀態(tài):常閉(僅控制器,流量計無閥門)

    工作溫度:5~45℃

    工作濕度:0~100%RH(無冷凝)

    工作壓差范圍:流量計 0.02MPa~3MPa

                 控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM為0.1~0.3MPa)

    最大耐壓:3MPa,可選高壓選項10MPa

    輸入輸出信號:標準為RS485,可選0~5V

    通訊協(xié)議:Modbus

    供電電壓:24VDC@250mA

    電氣接口:DB15pin,2XRJ45

    泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)

    接液材質(zhì):316L SS

    密封材料:根據(jù)氣體種類由廠家選擇或客戶指定,包括:PTF、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等

    管道接頭:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8雙卡套,3、6、8、10mm雙卡套

    外形尺寸:長×寬×高:127×30×128.5mm

    產(chǎn)品重量:流量計0.75kg

              控制器0.9kg

     

     

    ::訂購信息::

     

    · 流量計或控制器   · 氣體種類   · 流量范圍  

    · 工作溫度         · 入口壓力   · 出口壓力

    · 管道連接尺寸和類型        · 輸入/輸出信號

    · 安裝姿勢   · 選項及其它特殊要求:請咨詢我們

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