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    華林科納單片式清洗裝置

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備-標準清洗-單片自動清洗機

    產(chǎn)品品牌

    華林科納

    庫       存：

    50

    產(chǎn)       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：華林科納

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體清洗設(shè)備-標準清洗-單片自動清洗機

     TK 裝 置的 優(yōu)勢 （例）

    1) 大幅提高成品率

    ?微粒去除性能可對應(yīng)25納米級裝置。

    40 個/W (particle size 0.06um)

    ?2 流體濺射具有很高的塵埃除去性能

    ?蝕刻的面內(nèi)均一性良好：2 %以下（氧化膜在希HF處理的情況）

    ?特にエピ成長前の洗浄に高影響（メタル完全除去、ゴミ極小）

    2)  価格 優(yōu)勢

    ?MTK的價格是大日本、TEL等企業(yè)的同樣裝置價格的一半。

    3 ）運 營 成本

    ?藥液循環(huán)使用

    ?純水消費量：1 Liter/min （one chamber）

    3)  設(shè)置 面積 小

    ?2～3 m 2 (2 chamber) (參考 :水槽式： 13m2 )

    ?1.5～2 m 2 (1 chamber)

    4)  臭氧 水 清洗

    ? 卓越的塵埃、有機物、金屬除去性能（ 臭氧濃度:最大30ppm）

    ? 使用臭氧水、可省去硫酸、鹽酸、雙氧水

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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