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    包郵 關(guān)注:1896

    MKS氣體流量計 GE50A質(zhì)量流量控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體器件-MFC

    產(chǎn)品品牌

    MKS

    規(guī)格型號：

    氣體質(zhì)量流量控制器

    發(fā)貨期限：

    60天天

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    美國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：MKS

    型號：氣體質(zhì)量流量控制器

    所屬系列：半導(dǎo)體器件-MFC

     例：型號GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質(zhì)是氮氣，流量最大是500sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡膠密封）                                          

     

    GE50A質(zhì)量流量控制器                                                                       采購系列號GE50A

    用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號）

     

     氮氣，N2  013
     氨氣，NH3  029
     六氟化硫，SF6  110

     

    流量范圍，SCCM滿量程（相當(dāng)于氮氣）

     

     5  500
     10  101
     20  201
     50  501
     100  102
     200  202
     500  502
     1000  103
     2000  203
     5000  503
     10000  104
     20000  204
     30000  304
     50000  504

    裝配件（法蘭接口）

     

     

     Swagelok 4VCR male  R
     1/4 Swagelok   S
     C-Seal,(92mm port to port)  C
     W-Seal,(92mm port to port)  H

     

    通訊接口

     

     Profibus  4
     RS485  5
     DeviceNet  6
     Analog 0 to 5 VDC（9針D型）  A
     Analog 0 to 5VDC （15針D型）  B
     Analog 4 to mA（15針D型）  H

    密封材料

     標(biāo)配：Viton  V
     選配：Neoprene  N
     選配：Buna-N  B
     選配：Kalrez  K

    預(yù)留MKS的未來應(yīng)用

     

     

     標(biāo)準(zhǔn)  0

     

     固化軟件版本

     

     除非另有說明，MKS會安裝訂貨日期的最新固化版本軟件  10

     

     

    滿量程流量為3位數(shù)字顯示，前兩位表示量程流量的有效數(shù)字，由小數(shù)點分開；第三位表示10的指數(shù)

    注：其他氣體可選，完全替代MKS 1179A質(zhì)量流量控制器

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