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服務(wù)熱線(xiàn)
4001027270
ZZSX系列鍍膜機(jī)主要技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) 參數(shù) |
ZZSX-500 |
ZZSX-700 |
ZZSX-800 |
ZZSX-1100 |
ZZSX-1200 |
ZZSX-1350 |
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結(jié)構(gòu)形式 |
箱式前開(kāi)門(mén)后置抽氣系統(tǒng) |
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真空室尺寸 寬×深×高/mm |
500×500×680 |
700×700×860 |
800×800×1000 |
1100×1100×1200 |
Φ1200×1200 |
Φ1350×1240 |
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極限壓力/Pa |
≤5×10-4Pa |
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抽氣時(shí)間/min |
從1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20 |
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蒸發(fā)源 |
e型270磁偏轉(zhuǎn)電子槍 |
加速電壓/KV |
6,10兩檔可切換 |
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數(shù)量/套 |
1 |
1（根據(jù)用戶(hù)需要可安裝2套） |
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功率/kv |
6 |
10 |
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坩堝容積/ml及穴數(shù) |
20×4（或110環(huán)形坩堝） |
22×4（或120環(huán)形坩堝） |
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電阻加熱式 |
電壓/v |
5,10 |
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功率/kw |
2.5 |
5 |
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水冷電極/對(duì)數(shù) |
2/交替蒸發(fā) |
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工件架類(lèi)型及尺寸/mm |
整體拱形夾具Φ460 |
4片拱形夾具Φ650 |
4片拱形夾具Φ740；行星夾具Φ450×3任選一種 |
4片拱形夾具Φ1000；行星夾具Φ770×3任選一種 |
4片拱形夾具Φ1100 |
4片拱形夾具Φ1240 |
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工件烘烤 |
功率/kw |
4.5 |
4.5 |
9 |
13.5 |
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溫度/℃ |
350 |
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直流離子轟擊 |
最高電壓/v |
3400 |
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額定功率/kw |
1 |
1.5 |
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真空系統(tǒng)配置 |
K-400油擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
KT-500油擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
K-600油擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
KT-600油擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
K-800油擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
雙套K-600油擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
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光學(xué)鍍膜控制 |
光纖光路，透,反射控制，波長(zhǎng)380nm-760nm（可擴(kuò)展至380nm-1100nm） |
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水冷 |
水壓/Pa |
～2.5×105Pa |
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水溫/℃ |
<25 |
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壓縮空氣/Pa |
(5-8)×105Pa |
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總功率/kw |
22 |
25 |
35 |
46 |
54 |
56 |
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占地面積/mm長(zhǎng)×深×高 |
2600×2500×1900 |
2800×2700×2100 |
3200×3200×2400 |
3500×3600×2600 |
4000×3600×2600 |
4200×4000×2800 |
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北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司（原北京儀器廠）創(chuàng)建于1954年，總部位于中央商務(wù)區(qū)（CBD）的中心位置。生產(chǎn)基地位于大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)，占地面積31064平方米，建筑面積45504平方米。2003年通過(guò)ISO-2000質(zhì)量體系認(rèn)證。共有真空獲得、真空測(cè)量、真空應(yīng)用三大類(lèi)產(chǎn)品，從低真空到超高真空30多個(gè)系列160多個(gè)品種。產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于航天航空、電子信息、光學(xué)產(chǎn)業(yè)、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環(huán)保及新能源等行業(yè)。經(jīng)過(guò)50多年對(duì)真空技術(shù)的探索，通過(guò)與全國(guó)多所大專(zhuān)院校、研究院所進(jìn)行的多次合作開(kāi)發(fā)，以及公司研發(fā)人員不斷的創(chuàng)新與研發(fā)，北儀創(chuàng)新公司始終站在中國(guó)真空行業(yè)的前沿。
在真空測(cè)量技術(shù)、真空獲得技術(shù)、光學(xué)多層全自動(dòng)鍍膜技術(shù)、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(shù)（DC、MC、RF濺射技術(shù)）以及PECVD技術(shù)等方面處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，并有多項(xiàng)科研成果獲得國(guó)家專(zhuān)利。近年來(lái)，為多個(gè)院校、研究院所開(kāi)發(fā)制造多臺(tái)用于研究薄膜太陽(yáng)能電池的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。在擁有成熟的真空技術(shù)的基礎(chǔ)上，2006年北儀創(chuàng)新公司研制成功了國(guó)內(nèi)首條自行設(shè)計(jì)制造的非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術(shù)，用于生產(chǎn)大型玻璃光電模板一次完成多片數(shù)十平方米的雙節(jié)非晶硅薄膜的沉積，在相對(duì)低的設(shè)備投資下取得較高的大面積模板的產(chǎn)量，產(chǎn)品的性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同等水平，設(shè)備銷(xiāo)往廣東、福建、浙江等地區(qū)，改變了以往我國(guó)非晶硅薄膜電池生產(chǎn)線(xiàn)依靠進(jìn)口的現(xiàn)狀。
在真空測(cè)量技術(shù)、真空獲得技術(shù)、光學(xué)多層全自動(dòng)鍍膜技術(shù)、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(shù)（DC、MC、RF濺射技術(shù)）以及PECVD技術(shù)等方面處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，并有多項(xiàng)科研成果獲得國(guó)家專(zhuān)利。近年來(lái)，為多個(gè)院校、研究院所開(kāi)發(fā)制造多臺(tái)用于研究薄膜太陽(yáng)能電池的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。在擁有成熟的真空技術(shù)的基礎(chǔ)上，2006年北儀創(chuàng)新公司研制成功了國(guó)內(nèi)首條自行設(shè)計(jì)制造的非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術(shù)，用于生產(chǎn)大型玻璃光電模板一次完成多片數(shù)十平方米的雙節(jié)非晶硅薄膜的沉積，在相對(duì)低的設(shè)備投資下取得較高的大面積模板的產(chǎn)量，產(chǎn)品的性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同等水平，設(shè)備銷(xiāo)往廣東、福建、浙江等地區(qū)，改變了以往我國(guó)非晶硅薄膜電池生產(chǎn)線(xiàn)依靠進(jìn)口的現(xiàn)狀。
北儀創(chuàng)新公司一貫秉承并將繼續(xù)堅(jiān)持“誠(chéng)信 精益”的企業(yè)精神，不斷汲取客戶(hù)的建議及業(yè)界的先進(jìn)技術(shù)，以“顧客先導(dǎo) 持續(xù)改進(jìn)”的價(jià)值觀在合作中實(shí)現(xiàn)共贏。
