精品国产一二三区在线影院,91精品国产综合久久不国产大片

熱門(mén)產(chǎn)品

看了該商品的顧客還看了

美國(guó)ABM深紫外光刻機(jī) 怡和瑞豐

設(shè)備型號(hào)：ABM/6/500/DUV/DCCD/M

光學(xué)系統(tǒng)：

曝光時(shí)間調(diào)解器：0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s)
365-400nm光強(qiáng)傳感及電源供應(yīng)控制電路及反饋閉環(huán)；
聲控功率警報(bào)裝置可防止系統(tǒng)功率超過(guò)設(shè)定指標(biāo)；
有安全保護(hù)裝置的溫度及其氣流傳感器；
全景準(zhǔn)直透鏡光線(xiàn)偏差半角: <1.84度；
波長(zhǎng)濾片檢查及安裝裝置
抗衍射反射功能高效反光鏡；
二向色的防熱透鏡裝置；
防汞燈泄漏裝置；
配備蠅眼棱鏡裝置
配備深紫外光源，
    --220 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 8-10 mW/ cm2
    --254 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 12-14 mW/ cm2
    --365 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 18-20 mW/ cm2
    --400 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 30-35 mW/ cm2

主要配置：

6“，8”光源系統(tǒng)
可支持2“，3”，4“，6”，8“（圓/方片）及碎片光刻
手動(dòng)系統(tǒng)，半自動(dòng)系統(tǒng), 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
支持電源350-2000 Watt
支持深紫外曝光
CCD或顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

主要性能指標(biāo)：

光強(qiáng)均勻性Beam Uniformity:：
    --<±1% over 2” 區(qū)域
    --<±2% over 4” 區(qū)域
    --<±3% over 6” 區(qū)域
接觸式樣曝光特征尺寸CD（深紫外DUV）：0.35 um（驗(yàn)收指標(biāo)）
接觸式樣曝光特征尺寸CD（深紫外DUV）：0.25 um（極限指標(biāo)）
正面對(duì)準(zhǔn)精度±0.5um
支持正膠、負(fù)膠及Su8膠等的厚膠光刻，特征尺寸：100um-300um
支持LED優(yōu)異電流控制技術(shù)PSS工藝光刻
支持真空、接近式、接觸式曝光
支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式

光刻線(xiàn)條特征尺寸：

    應(yīng)用實(shí)例1：深紫外光源下0.25um線(xiàn)條
     Scanning Electron Micrographs 電子顯微鏡圖像
     Feature Sizes圖像尺寸0.25微米線(xiàn)條
     采用TOK DUV 光刻膠，200nm光學(xué)鏡，光刻膠厚度0.45微米。曝光時(shí)間40秒。

美國(guó)ABM深紫外光刻機(jī) 怡和瑞豐

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

規(guī)格型號(hào)：

庫(kù) 存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價(jià) 格：

熱門(mén)產(chǎn)品

看了該商品的顧客還看了

咨詢(xún)

裝箱清單

售后保障

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品：

美國(guó)ABM深紫外光刻機(jī) 怡和瑞豐

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

規(guī)格型號(hào)：

庫(kù) 存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價(jià) 格：

我要詢(xún)價(jià)

熱門(mén)產(chǎn)品

看了該商品的顧客還看了

咨詢(xún)

裝箱清單

售后保障

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品：