SR100 光譜反射薄膜測厚儀

◆ 波長范圍：250nm到1100 nm
◆ 光斑尺寸：500μm至5mm
◆ 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
◆ 基板尺寸：最多可至50毫米厚
◆ 測量厚度范圍：2nm到50μm
◆ 測量時間：最快2毫秒
◆ 精確度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
◆ 重復(fù)性誤差：小于1

SR100特點

◆ 易于安裝
◆ 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
◆ 先進的光學設(shè)計，以確保能發(fā)揮出最佳的系統(tǒng)性能
◆ 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng)，以確?？焖贉y量
◆ 獨特的光源設(shè)計，有著較好的光源強度穩(wěn)定性
◆ 有四種方法來調(diào)整光的強度：
§ 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小
§ 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整
§ 調(diào)整光束大小
§ 通過TFProbe軟件，在探測器里調(diào)整積分時間
◆ 最多可測量5層的薄膜厚度和折射率
◆ 在毫秒的時間內(nèi)，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
◆ 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
◆ 系統(tǒng)配備大量的光學常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
◆ 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復(fù)合模型（EMA）測量分析； 
◆ 可升級至MSP（顯微分光光度計）系統(tǒng)，SRM成像系統(tǒng)，多通道分析系統(tǒng)，大點測量。
◆ 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量。
◆ 能夠應(yīng)用于不同類型、不同厚度的基片測量。
◆ 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量，例如通過曲線表面進行縱長測量。
◆ 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

SR100系統(tǒng)配置

◆ 型號：SR100R
◆ 探測器： 2048像素的CCD線陣列
◆ 光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素燈
◆ 光傳送方式：光纖
◆ 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小
◆ 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
◆ 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
◆ 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
◆ 電腦硬件要求：P3以上、最低50 MB的空間
◆ 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
◆ 保修：一年的整機及零備件保修

SR100應(yīng)用

◆ 半導體制造（PR，Oxide, Nitride..)
◆ 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..）
◆ 醫(yī)學，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
◆ 油墨，礦物學，顏料，調(diào)色劑等
◆ 醫(yī)藥，中間設(shè)備
◆ 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
◆ 半導體化合物
◆ 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
◆ 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅