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DS-2000/14K型光刻機 上海佰芯 設備商城
◆光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）；
◆照明均勻性：2%；
◆物鏡倍率：14倍
◆曝光場面積：1mm×0.75mm
◆光刻分辨力：1 μm
◆工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm；
工件臺運動定位精度：0.65μm；
◆調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm；
◆對準精度：2μm；
◆調(diào)焦臺運動行程：6mm
◆檢焦：CCD檢測，檢測精度2微米
◆轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上
◆基片尺寸
外徑:Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm
◆外形尺寸：840mm（長）450mm(寬) 830mm（高）
技術特征◆采用DMD作為數(shù)字掩模，像素1024768
◆采用14倍縮小投影光刻物鏡成像，一次曝光面積約1mm×0.75
◆采用專利技術——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明。
◆采用進口精密光柵、進口電機、進口導軌、進口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應100mm100mm基片。
◆采用CCD檢焦系統(tǒng)實現(xiàn)整場調(diào)平、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光。
◆具備對準功能
配置◆照明系統(tǒng)
350W直流汞燈（德國）、橢球鏡、準直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm濾光片、氣動快門、DMD（美國德州儀器）、冷卻風扇。
◆投影物鏡(可根據(jù)用戶要求設計增加，如2.8倍、5倍、10倍等)
◆分辨力1μm（縮小倍率14倍）
◆工件臺系統(tǒng)
X臺：電機驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵（美國）
Y臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵2（美國）
轉(zhuǎn)動臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動軸系
Z臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠、上升導向機構(gòu)
承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
◆檢焦系統(tǒng)
焦面光學檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
◆對準系統(tǒng)
對準光學檢測系統(tǒng)、CCD、對準軟件
◆電控系統(tǒng)
汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、監(jiān)視器（19英寸液晶）、接口
◆花崗巖平臺
◆控制柜桌
◆氣動系統(tǒng)
電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
◆技術資料：操作說明書
◆選配件
350W直流高壓汞燈（每增加1只3000元）、承片臺（每增加1個800元），投影物鏡（每增加一種2.2萬）
◆其他附件
真空泵一臺(無油泵)
空壓機一臺（靜音泵）
管道
◆技術資料
使用維修說明書
使用操作DVD
安裝環(huán)境要求◆要求的站地面積：2m1.5m
◆供電要求：交流220V，8A
◆潔凈度：最好優(yōu)于10000級
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