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立德愛博LDAOI-13B晶圓視覺檢測(cè)儀

LDAOI-13B機(jī)械特性:

★ 各種規(guī)格3D TSV 8英寸、12英寸晶圓整體檢測(cè);

★ 可生成多種格式MAPPING文件;

★ 可在MAPPING圖任意確定5個(gè)檢查區(qū)域，實(shí)現(xiàn)抽檢功能；

★ 大型數(shù)據(jù)根據(jù)MAPPING圖號(hào)可以瀏覽過去幾天的檢查過程圖片和結(jié)果，根據(jù)檢查結(jié)果，實(shí)現(xiàn)離線檢查功能

★ 中文操作簡易且運(yùn)行穩(wěn)定可靠的軟件系統(tǒng);

●圖像識(shí)別處理系統(tǒng)

★ 采用精密高清晰度1400萬彩色面陣相機(jī)工業(yè)攝像機(jī),及高清晰度同軸光雙遠(yuǎn)芯鏡頭;

★ 傳輸方式：usb3.0；12fps(4384*3288 2.2μ）高速成像、高清晰度圖像為圖像采集提供了有效保障;

★ 簡易操作、可程式搜尋晶片范圍、形狀及晶片間距;

★ 可程式器件參數(shù)設(shè)置、PR定位、提供快速品種轉(zhuǎn)換;

★ 17”寬屏彩色液晶顯示器為圖像識(shí)別預(yù)覽及界面操作提供了更為有效的保障;

★ 圖像識(shí)別精度：4384*3288像素約3.6μ

★ 單幅測(cè)量范圍;15mm*11.8mm

★ 采用同軸LED燈光源,側(cè)LED漫反射燈光源匹配設(shè)計(jì)方案,為反光度不同的晶片，斜坡處復(fù)雜圖像提供了可靠的保障.

★ 檢測(cè)功能：

1、斷路、短路、缺口、毛剌、線寬窄、凹坑、變色檢測(cè)

2、錫球大小、劃傷、毛剌檢測(cè)

3、電路綠色保護(hù)膜的完整檢測(cè)（正在開發(fā)）

4、玻璃面劃傷、黑點(diǎn)、裂痕檢測(cè)（正在開發(fā)）

●工作臺(tái)系統(tǒng)

★ X、Y均采用伺服電機(jī),雙層直線導(dǎo)軌工作臺(tái)和滾珠絲桿結(jié)構(gòu);

★ 獨(dú)特的工作臺(tái)懸浮設(shè)計(jì)方案,保證設(shè)備運(yùn)行精度及長期穩(wěn)定性;

立德愛博LDAOI-13B晶圓視覺檢測(cè)儀規(guī)格參數(shù)

系統(tǒng)配制

操作系統(tǒng)	32位win7
Cpu	Xeon 8核 E3-1245 V3 3.4GHz
內(nèi)存	DDR3 ECC 4G
硬盤	SSD120G 4T硬盤

生產(chǎn)周期：8分鐘/片 8″(200mm)外徑

芯片XY工作臺(tái)

芯片尺寸 8″(200mm)外徑12″(300mm)外徑

最大行程 12″×12″(325×325mm)

分辯率 0.02mil(0.5μm)

重復(fù)率±0.02mil(±0.5μm)

圖像識(shí)別系統(tǒng)

圖像識(shí)別 256級(jí)灰度

分辯率4384*3288像素圖像識(shí)別精度約3.6μ

所需條件

電壓AC-220V/50Hz

真空負(fù)壓≤80Kpa

功率消耗 1000W

體積及重量

長*寬*高1150*980*1800mm

重量700 kg

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