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非接觸式輪廓測量儀是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對工件進(jìn)行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學(xué)計量儀器

產(chǎn)品原理

該P(yáng)F-60，由自動聚焦激光束顯微鏡（AF顯微鏡）和高精度的XY掃描移動軸。自動對焦顯微鏡測量在Z軸方向高度和XY載物臺移動的樣品，以獲得二維和三維的XYZ坐標(biāo)值，進(jìn)行形狀測定。

自動對焦系統(tǒng)

高度測量用的AF顯微鏡，是通過上圖紅色激光束光路，以一個半徑為0.5μm的激光探針通過透鏡，在工件表面成像。

反射的激光束從工件表面再通過透鏡，在AF傳感器上成像，激光對焦位置發(fā)生改變，AF傳感器上的激光位置也會發(fā)生變化。

AF傳感器上位置變化被實(shí)時檢測出來，根據(jù)激光位置的變化反應(yīng)到AF的機(jī)構(gòu)部，由AF顯微鏡成像決定焦點(diǎn)位置。

XY移動軸掃描

高精度的XY移動臺，在移動中能夠讀取XY坐標(biāo)值，可移動范圍內(nèi)

(60mmx60mm)可連續(xù)測量。無需受限視野，無需數(shù)據(jù)的拼接，可實(shí)現(xiàn)廣范圍高精度的連續(xù)測量。

產(chǎn)品應(yīng)用范圍:

作為新的高科技產(chǎn)品，三維激光掃描儀廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計量室。

在汽車、摩托車、制冷行業(yè)可測汽車、摩托車、壓縮機(jī)的活塞、活塞銷、齒輪和氣門頂桿的母線參數(shù)等并可測量各種斜形零件的參數(shù)。

在軸承行業(yè)可測內(nèi)外套圈的密封槽形狀(角度、倒角R、槽深、槽寬等);

各種滾子軸承的滾子和套圈母線的凸度、角度、對數(shù)曲線;

電機(jī)軸、圓柱銷、活塞銷、滾針軸承、圓柱滾子軸承、直線軸承的動體和套圈的直線度；球軸承溝道的溝曲率半徑及溝邊距;雙溝軸承的

溝心距；四點(diǎn)接觸軸承(桃形溝)的溝心距和溝曲率半徑等。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

快速高精度激光點(diǎn)對焦

測量時間短，測量方便

可對應(yīng)低反射率樣品

可對應(yīng)大斜率樣品表面

廣范圍/高精度測定

極其優(yōu)異的角度追蹤性

3D非接觸式激光輪廓儀

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