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    俄羅斯Optosystem準分子激光器CL7000

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-光刻設備-其它光刻設備

    產(chǎn)品品牌

    俄羅斯Optosystem

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥1.00
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    品牌：俄羅斯Optosystem

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-光刻設備-其它光刻設備

    俄羅斯Optosystem準分子激光器CL7000
    編號：
    功率：
    芯片數(shù)量：
    詳細介紹

    準分子激光器： CL7000,   俄羅斯 Optosystem

          準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。


    CL7000系列技術參數(shù)：

    型號

    ArF

    KrF

    XeCl

    波長

    193 nm

    248 nm

    308 nm

    管材料

    陶瓷

    預電離

    火花

    標準脈沖能量

    250 mJ

    400 mJ

    300 mJ

    平均功率
    CL 7020
    CL7050
    CL 7100


    5 W
    10 W
    20 W


    8 W
    20 W
    35 W


    6 W
    15 W
    25 W

    最大重復頻率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    20 Hz
    50 Hz
    100 Hz

    脈寬

    17 ns

    20 ns

    20 ns

    脈沖穩(wěn)定度

    sigma < 2%

    光斑大小

    6 x 20 mm

    6 x 21 mm

    7 x 22 mm

    光束發(fā)散角

    1.5 x 4.5 mrad

    時間抖動

    < 2 ns

    尺寸, (重量)

    1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

    冷卻
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    風冷
    水冷（水流< 1L/min）
    水冷（水流< 3L/min）

    功率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA
    220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA
    380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA

    氣體

    1 premix cylinder

    控制接口

    RS 232, DOS/Windows



    可選功能：     

          1 、1000Kz型號可選
          2、窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1
          3、 F2，157nm型號可選

    特點：

          1、陶瓷放電激光腔設計，長壽命
          2、激光腔，電子系統(tǒng)一體化設計
          3、功率穩(wěn)定運行模式
          4、預混合供氣，使用簡單
          5、計算機控制

    應用 ：

          1、準分子激光脈沖沉積鍍膜
          2、準分子激光光柵光纖（FBG）刻寫
          3、準分子激光材料加工，微納制造，光刻

     


    準分子激光激光沉積鍍膜（PLD）系統(tǒng)示意圖

     


    準分子激光器光纖光柵（FBG）刻寫原理圖

       

     

     

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