該儀器專門(mén)用于硅單晶錠的定向,是和多線切割機(jī)配套使用的半導(dǎo)體行業(yè)專用設(shè)備。臺(tái)上有一對(duì)滾杠,用于3~8英寸晶錠測(cè)定。晶錠放在滾杠上,其端面在X射線照射下定向。
晶錠尾端與編碼器偶合,細(xì)分步到0.001°,用于測(cè)定晶錠旋轉(zhuǎn)角度??蛇M(jìn)行四方位(0°,90°,180°,270°)和二方位(0°,90°)測(cè)量。該儀器有一套微機(jī)控制裝置,具有輸入鍵盤(pán)、屏幕和打印機(jī)等。選擇屏幕菜單,鍵入晶錠編號(hào)、所需數(shù)據(jù)、產(chǎn)品要求的切割偏角等,經(jīng)計(jì)算、顯示、并打印出晶錠在料板(工件板)上粘結(jié)所必須的自身旋轉(zhuǎn)角β及擺角α等值。