網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 晶圓減薄拋光設(shè)備 » 磨削機 »高精密光學(xué)曲線磨床 (S614)
    包郵 關(guān)注:605

    高精密光學(xué)曲線磨床 (S614)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-磨削機

    庫       存:

    99

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障
     1、 技術(shù)規(guī)格:

    編號

    項  目

    單位

    機型:S614

    1

    磁臺尺寸

    mm

    150*350

    2

    工作臺面尺寸

    mm

    230*600

    3

    工作臺移動尺寸(前后*左右)

    mm

    180*520

    4

    左右

    移動

    (Y軸)

    最大行程

    mm

    520

    5

    最大移動速度

    Mm/min

    30000

    6

    直線電機

    N

    MAX.1600

    7

    分辨率

    mm

    0.0001

    8

    前后

    移動

    (X軸)

    最大行程

    mm

    180

    9

    最大速度

    Mm/min

    12000

    10

    伺服電機功率

    KW

    1.8

    11

    分辨率

    mm

    0.0001

    12

     

    上下

    移動

    (Z軸)

    最大行程

    mm

    350

    13

    最大速度

    Mm/min

    12000

    14

    伺服電機功率

    KW

    1.5

    15

    分辨率

    mm

    0.0001

    16

    砂輪尺寸(外徑*厚度*內(nèi)徑)

    Deg

    (100-205)*(13-19)*31.75mm

    17

    裝機總功率

    KW

    10

    18

    機械潤滑

     

    定時自動

    19

    外形尺寸(長*寬*高)

    mm

    1750*1800*2000

    20

    設(shè)備重量

    KG

    3500

     

    2、 機床精度:

    經(jīng)過豪特曼光學(xué)曲線平面研磨,需達到如下標(biāo)準(zhǔn)精度要求:(不同材質(zhì)工件選用不同砂輪)

    No.

    磨削方式

    工件

    平面度

    粗糙度

    1

    平面

    試樣件100*300mm

    ≤0.002mm

    ≤Ra0.2

       注:粗磨 (一般情況研磨量 0.03~0.06mm);精磨 (一般情況研磨量0.005~0.02mm)

    一、 設(shè)備描述:

    1﹑本體

    本體及構(gòu)件采用米漢納高級鑄鐵FC30一次鑄成,經(jīng)人工正?;療崽幚恚俳?jīng)過六個月以上自然時效處理,構(gòu)件加工采用YASDA、MITSUI SEIKI、TOSHIBA 、ELB等世界一流設(shè)備一次裝夾加工,精密尺寸可達微米級,確保設(shè)備基礎(chǔ)構(gòu)件高精度。

    2﹑主軸系統(tǒng)

    主軸采用前四后二軸承式結(jié)構(gòu),均在恒溫?zé)o塵車間安裝,搭配P4級超精密角接觸滾珠軸承并作預(yù)壓處理,軸承與軸芯組合后,主軸跳動控制在0.001mm以內(nèi),具有溫升小、噪音低、振動小的特點。

     

    3﹑傳動系統(tǒng)

    左右移動Y軸采用直線電機結(jié)構(gòu),最大驅(qū)力可達1600N,配置進口高精密光柵尺,超高的定位精確度,最小進給可達0.0001mm。X軸和Z軸采用C1級滾珠絲桿,靜壓潤滑可降低摩擦與交互影響,并可增加剛性和定位精度。

     

    4﹑修砂裝置

    采用兩種不同的修砂刀,配合三軸聯(lián)動進行修砂,可輕松實現(xiàn)砂輪的端面及外輪廓的成型修整。

    5、設(shè)備詳細結(jié)構(gòu)圖

     

     

    設(shè)備配置:

    1、標(biāo)準(zhǔn)附件

    序號

       

    品牌/型號

    產(chǎn)地

    數(shù)量

    1

    數(shù)控系統(tǒng)

    萊納克

    上海

    1套

    2

    直線電機

    沙迪克

    日本

    1套

    3

    光柵尺

    法格

    西班牙

    1套

    4

    伺服電機

    安川

    日本

    2套

    5

    電控裝置

    富士

    日本

    1套

    6

    滾珠絲桿

    THK

    日本

    2套

    7

    直線導(dǎo)軌

    THK

    日本

    2套

    8

    潤滑油系統(tǒng)

    寶騰

    臺灣

    1套

    9

    砂輪電機

    東菱

    臺灣

    1臺

    10

    工作燈

    ONN

    深圳

    1組

    11

    修整座 

    豪特曼

    東莞

    1套

    12

    水泵

    九維

    臺灣

    1套

    2、特殊附件(選配)

    序號

    項目名稱

    廠牌/型號

    產(chǎn)地

    數(shù)量

    1

    磁鐵+紙帶過濾裝置

    150L

    東莞

    1套

    2

    全罩式鈑金

    定制

    東莞

    1套

     

    裝機環(huán)境要求:

       

    1

    電源電壓                                 

    380V

    2

    裝機總功率                               

    10KW

    3

    操作環(huán)境溫度                                

    5-40℃

    4

    磨削液過濾方式

    沉淀或磁鐵紙帶過濾

    5

    冷卻水泵

    0.25KW

    6

    冷卻水箱

    150L

     

    標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)文檔

    No.

    內(nèi)            

    數(shù) 

         

    1

    操作使用說明書                                

    一本

    中文

    2

    設(shè)備出廠合格證                   

    一份

    中文

    3

    出機清單                                 

    一份

    中文

    4

    工具箱附件清單                                

    一份

    中文

    5

    交機驗收單

    一份

    中文

     

    工件磨削工藝:

    1、工件圖紙:客戶自定

    2、工件材料:客戶自定

    3、工件磨削方式:

    4、生產(chǎn)節(jié)拍:

     

    設(shè)備預(yù)驗收:

    1、預(yù)驗收的條件:

    (1)買方需在合同及技術(shù)協(xié)議簽訂前提供確認的磨削工件相關(guān)圖紙、實樣和試驗規(guī)范要求;

    (2)賣方對買方所提供的所有技術(shù)資料,負有保密的責(zé)任;

    (3)預(yù)驗收時間將由賣方在預(yù)驗收前10天通知買方,買方準(zhǔn)備好相關(guān)工件10支發(fā)給賣方或買方根據(jù)情況帶工件到賣方工廠現(xiàn)場驗收。

    (4)賣方應(yīng)在買方人員到達設(shè)備生產(chǎn)廠前,做好預(yù)驗收的準(zhǔn)備工作。

    (5)砂輪參數(shù)將由賣方根據(jù)客戶提供圖紙自行選配,合同簽定后配置相關(guān)砂輪。

    2、預(yù)驗收內(nèi)容和標(biāo)準(zhǔn):買賣雙方達成的驗收規(guī)范,按買方提供的圖紙標(biāo)準(zhǔn)進行。

    (1)設(shè)備外觀檢查。

    (2)設(shè)備的操作,維修的方便性(依照賣方機床設(shè)備之設(shè)計為準(zhǔn))。

    (3)設(shè)備的強度,剛性對質(zhì)量的影響(依賣方提供之設(shè)備精度檢驗表為準(zhǔn))

    (4)設(shè)備運行的實測記錄(空、滿負荷運轉(zhuǎn)時間、內(nèi)容等)。

    (5)設(shè)備的各主要性能指標(biāo)實測記錄。

    (6)對主要零部件的檢驗記錄抽查和裝配記錄抽查內(nèi)容。

    (7)對重要配件的確認。

    (8)對可磨削的產(chǎn)品連續(xù)加工10件,達到圖紙要求且設(shè)備運行正常。

    (9) 預(yù)驗收工件在磨削過程中允許賣方加工出的廢品將與合格試件或可與出貨機臺一起運買方。

    3、在預(yù)驗收過程中買方有權(quán)對設(shè)備提出合理的整改意見,經(jīng)雙方同意后賣方可以整改;

    4、預(yù)驗收合格,賣方簽署預(yù)驗收文件后,賣方才可發(fā)運該設(shè)備給買方。

     

    安裝調(diào)試及終驗收

      1、設(shè)備到達買方后,賣方將派出相關(guān)技術(shù)人員對該設(shè)備進行安裝、調(diào)試。

      2、安裝調(diào)試至設(shè)備正常工作具體內(nèi)容見《交機驗收單》。

      3、賣方將根據(jù)實現(xiàn)情況現(xiàn)場進行工件的磨削,達到圖紙要求,由買方驗收人員簽字后即為終驗收合格。

    技術(shù)培訓(xùn)及服務(wù)(限中國大陸):

    1、賣方設(shè)備到達買方并作終結(jié)驗收合格一年內(nèi)為保固期,正常使用情況下?lián)p壞免費保修(人工和零件均為免費),保固期后賣方長期為買方提有償服務(wù)。

    2、賣方免費派技術(shù)人員對買方操作人員進行以下內(nèi)容的培訓(xùn): 磨床正常調(diào)試,砂輪更換,液壓油路保養(yǎng),油封布司更換,電器組件的正常維護,磨床操作安全規(guī)范,磨床操作基本知識,磨床基本故障判斷等 。

    3、買方需要提前安排磨床操作人員,培訓(xùn)時間為1-3個工作天,由于買方操作人員問題而造成設(shè)備無法交接和培訓(xùn),責(zé)任由買方承擔(dān)。如果買方要求延長培訓(xùn)時間,將根據(jù)買方培訓(xùn)收費標(biāo)準(zhǔn)收取相關(guān)費用。

    4、賣方技術(shù)人員的培訓(xùn)期間,買方免費提供午餐,其它食宿費用由賣方自行承擔(dān)。

    5、對于設(shè)備故障投訴,賣方在12小時內(nèi)給出響應(yīng)并提供解決方案,48小時內(nèi)可派人到達現(xiàn)場解決問題。

    咨詢

    購買之前,如有問題,請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號