應用方向:高校微電子教學及科研、實驗室芯片失效分析
測試器件類型:光電芯片、GaN芯片、RF芯片、有機器件、OLED等
測試參數(shù):IV,CV,S參數(shù),阻抗參數(shù)
配合儀器:B1500A半導體器件分析儀,B2900A 源測量單元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析儀,N5245A矢網(wǎng)等
MPS150A是專用的探針臺解決方案,適合需要在短的時間內(nèi)精確 對半導體元器件及材料、晶圓片進行IV/CV測試的用戶使用。結(jié)合半導體器件分析儀可作為實驗室的器件分析測試平臺。
MPS150A 探針臺為保護樣片測量周期內(nèi)高質(zhì)量的接觸,通過非常 穩(wěn)定的系統(tǒng)平臺設計,完美的振動隔離方案,能夠讓用戶取得想要 的測量精度。工業(yè)標準探針座經(jīng)過優(yōu)化光學和無反向間隙X-Y-Z移 動,接觸分離驅(qū)動達到1μm重復性,相對于半自動探針臺探針座擺 放更加精密。高質(zhì)量的三同軸信號線纜保證測試特性電流達到fA級別低噪聲。
載片臺可提供加熱變溫選件,讓器件測試更加容易。載片臺采用快速推拉式設計, 可單手調(diào)節(jié)操作, 高度平整的表面及可 移動性,讓初學者和用戶容易操作上手
該探針臺設計具有可升級和擴展性,例如可升級阻抗測量(配合阻抗分析儀),電容測試可達fF級別。保護用戶的一次性投資
咨詢
請問是你們的對正系統(tǒng)技術是OTS,QPU和TTG的哪種?
chuck尺寸能測哪些規(guī)格的晶元?X-Y移動行程多少?
技術指標:
可測試Wafer尺寸:2英寸~6英寸
Chuck XY向行程:160mm*160mm
Chuck移動分辨率:旋鈕調(diào)節(jié)
Chuck旋轉(zhuǎn)范圍: ±5°微調(diào),360°粗調(diào)
Chuck Z向接觸分離:1mm
Chuck 真空: 分三檔輸入
臺面Z向行程:25mm,接觸分離1mm
上下片方式:快速抽拉上下片
視頻顯示系統(tǒng):雙目體式顯微鏡標配(45X)LED環(huán)形燈, 選配CCD工業(yè)相機,實時芯片圖像
顯微鏡機構(gòu)調(diào)節(jié):XY向±25mm,Z向±35mm
遮光屏蔽罩:選配
探針:直流鎢針、射頻微波探針
探針座:精密千分尺結(jié)構(gòu),X,Y,Z三向可調(diào)節(jié),磁力座
外形尺寸:610mm×560mm×500mm(長×寬×高)
設備重量: 約40 KG
使用環(huán)境:電源220VAC,功率0.05kW,真空-80kPa,環(huán)境溫度15ºC~30ºC,相對濕度<60%
裝箱清單
MPS150A 6英寸精密手動探針臺主機
SR-SCOPE 雙目體式顯微鏡90X(可選配金相顯微鏡)
SR-CCD 工業(yè)相機CCD,選配
SR-VP 進口靜音真空泵
SR-T100DC 精密直流磁吸附探針座,線性解析2μm
SR-T60DC 精密直流磁吸附探針座,線性解析0.7μm
SR-T60RF 精密射頻微波磁吸附探針座,帶射頻仰角機構(gòu)
SR-TTH 低漏電直流探針桿,帶Triax線纜
SR-GGB-DC 直流鎢針,針尖直徑1μm到20μm可選
SR-GGB-RF 射頻微波探針,DC-40GHz/67GHz/110GHz
SR-PCA 探針卡適配器
SR-300C 變溫控制臺
SR-SB 遮光屏蔽罩
SR-VT 防震桌,根據(jù)尺寸要求定制光學防震平臺