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    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-爐類設備-退火爐

    產品品牌

    Centrotherm

    庫       存：

    1000

    產       地：

    德國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥1000.00
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    品牌：Centrotherm

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-爐類設備-退火爐

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生長

     

    centrotherm Activator 150 高溫爐生產線專為硅-碳化合物（SiC）或鎵-氮化合物（GaN） 設備的后植入燒結而設計開發(fā)。Activator 150 可用于多種類型爐體， 如研發(fā)爐和批量生產爐， 且處理靈活性高。centrotherm 的無金屬加熱裝置的獨特設計允許處理溫度高達 1850 °C 同時縮短了工藝循環(huán)時間。由于占據(jù)空間小、購置成本低，所以 Activator 150 可實現(xiàn)生產具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    溫度最高達 1850°C

    批量規(guī)模高達 50硅片（150mm）

    加熱率最高達 150 K/min

    通過SiH4可實現(xiàn)硅“過壓

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    提問:
     
    問

    加溫速度是多快啊？降溫裝置是什么？有現(xiàn)貨嗎？

    hjool  2017-07-24

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品：

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

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