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設(shè)備用途: 用于半導(dǎo)體器件燒結(jié)、焊接、烘干、管殼氣密封裝等。 鏈(帶)式燒結(jié)爐特點(diǎn): ★ 本設(shè)備為氣氛保護(hù)爐,保護(hù)氣氛為氫氣、氮?dú)?、氬氣等?br /> ★ 設(shè)備具有連續(xù)工作性,保證生產(chǎn)效率。 ★ 獨(dú)特的氣幕簾與機(jī)械幕簾結(jié)合,確保爐膛與空氣隔絕。 ★ 多溫區(qū)控制爐溫,方便調(diào)整工藝曲線。 ★ 鏈帶速度無(wú)級(jí)連續(xù)可調(diào)。 ★ 根據(jù)用戶要求可配加濕器。 鏈(帶)式燒結(jié)爐主要技術(shù)指標(biāo) ★帶寬: 90~350 mm ★爐膛高度: 100~200 mm ★爐膛寬度: 100~370 mm ★冷卻段長(zhǎng): 1000~3000 mm ★溫度范圍: 300~1050℃ ★等溫區(qū)長(zhǎng): 600~1500 mm ★控制精度: ±2℃ ★控制段數(shù): 4~10段 ★帶速: 20~500 mm/min ★升溫時(shí)間: 90~240min ★升溫功率: 20~120 KVA ★保護(hù)氣體: 3~5路氮?dú)?~100 l/min 一路氫氣0~80 l/min |
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