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    包郵 關(guān)注:486

    三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試-其他

    庫(kù)       存:

    99

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
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    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試-其他

     三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x可定義為一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器,可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng),此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào),三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng) ( 如光學(xué)尺 ) 經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)(X、Y、Z)及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度測(cè)量、定位精度測(cè)量、幾何精度測(cè)量及輪廓精度測(cè)量等。任何形狀都是由三維空間點(diǎn)組成的,所有的幾何量測(cè)量都可以歸結(jié)為三維空間點(diǎn)的測(cè)量,因此精確地進(jìn)行空間點(diǎn)坐標(biāo)的采集,是評(píng)定任何幾何形狀的基礎(chǔ)。

    工作原理:

    三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的基本原理是將被測(cè)零件放入它允許的測(cè)量空間范圍內(nèi),精確地測(cè)出被測(cè)零件表面的點(diǎn)在空間三個(gè)坐標(biāo)位置的數(shù)值,將這些點(diǎn)的坐標(biāo)數(shù)值經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)處理,擬合形成測(cè)量元素,如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等,經(jīng)過(guò)數(shù)學(xué)計(jì)算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)。

    產(chǎn)品應(yīng)用范圍:


    廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、模具、汽車、航空航天等行業(yè)的計(jì)量檢測(cè),確保產(chǎn)品的形狀和位置公差符合要求。

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    · 工作臺(tái)支撐點(diǎn)采用3+2支撐方式,三個(gè)主支撐點(diǎn)經(jīng)過(guò)嚴(yán)密計(jì)算,保證工作臺(tái)變形量最小,提高測(cè)量機(jī)精度。兩個(gè)輔助支撐點(diǎn)確保測(cè)量機(jī)的穩(wěn)定、安全、可靠。

    · 框架采用全封閉結(jié)構(gòu),采用優(yōu)質(zhì)鋁合金材料,即保證了框架的剛度又減輕了框架的重量,提高了框架運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性,提高了測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)測(cè)量精度。

    ·X、Y、Z三軸導(dǎo)軌均采用精密級(jí)花崗巖氣浮導(dǎo)軌,三軸具有相同的溫度效應(yīng),保證了測(cè)量機(jī)精度。

    ·花崗巖氣浮導(dǎo)軌氣浮布置嚴(yán)格按照面、線、點(diǎn)定位原則,做到既不過(guò)定位又不失定位,即保證測(cè)量機(jī)的精度又保證安裝工藝性。

    ·X橫梁采用專利技術(shù),梯形截面45°放置技術(shù),是相同高度、寬度矩形橫梁氣浮跨距的1.4倍,有效的提高了測(cè)量機(jī)精度。

    ·Z軸采用低摩擦氣缸平衡重力技術(shù),可實(shí)現(xiàn)隨時(shí)調(diào)節(jié)平衡重力,同時(shí)提高了Z軸運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性,提高了測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)測(cè)量精度。

    ·整機(jī)采用先進(jìn)的有限元分析設(shè)計(jì),對(duì)零件進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)。

    ·設(shè)備依托現(xiàn)代工業(yè)設(shè)計(jì)理念,充分考慮了人機(jī)工學(xué)特點(diǎn),使設(shè)備具有操作舒適性。

    ·設(shè)備采用多重防護(hù)措施,如:Z軸平衡氣缸壓力實(shí)時(shí)檢測(cè)保護(hù)、開(kāi)機(jī)空氣軸承延時(shí)通氣保護(hù)、空氣軸承工作壓力實(shí)時(shí)檢測(cè)、軟限位、電限位、硬限位三重保護(hù)功能、長(zhǎng)時(shí)間無(wú)人操作斷電保護(hù)等多項(xiàng)保護(hù)功能,大大提高了設(shè)備的使用安全性。

    ·配置了精密級(jí)氣源過(guò)濾器,對(duì)油、水過(guò)濾精度可達(dá)0.1um,過(guò)濾率達(dá)99.93%,保證了花崗巖氣浮導(dǎo)軌安全可靠運(yùn)行。

    ·驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用國(guó)際知名品牌的高性能直流伺服電機(jī)、同步齒形帶傳動(dòng)裝置,確保傳動(dòng)更快捷、更精準(zhǔn)、運(yùn)動(dòng)性能更佳;

    ·采用進(jìn)口精密光柵系統(tǒng)為測(cè)量機(jī)提供了準(zhǔn)確可靠的長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn),保證了機(jī)器測(cè)量的重復(fù)性;

    ·測(cè)量機(jī)出廠前經(jīng)過(guò)質(zhì)檢部門(mén)48小時(shí)連續(xù)無(wú)故障空運(yùn)行試驗(yàn),保證了機(jī)器測(cè)量過(guò)程中的穩(wěn)定性;

    ·配備進(jìn)口測(cè)頭系統(tǒng)可滿足多種測(cè)量需要;

    ·采用國(guó)際先進(jìn)的上下位機(jī)式的雙計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),下位機(jī)為32位CPU微處理器,可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制,提高了系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性

    ·上下位機(jī)采用光纖通信,系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng)

    ·系統(tǒng)具有三種工作模式:觸發(fā)式測(cè)量、數(shù)字化及包括具有專利的RenscanDCTM的SP25M、SP80、SP600掃描測(cè)量模式

    ·內(nèi)置控制技術(shù)可控制旋轉(zhuǎn)工作臺(tái),實(shí)現(xiàn)四軸伺服驅(qū)動(dòng)

    ·具有功能強(qiáng)大的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)控制軟件,進(jìn)行伺服運(yùn)動(dòng)參數(shù)自動(dòng)優(yōu)化調(diào)整

    ·具有圖形軌跡顯示調(diào)試軟件,可實(shí)現(xiàn)智能掃描控制,進(jìn)行空間輪廓曲線、曲面自動(dòng)掃描控制

    ·采用連續(xù)運(yùn)動(dòng)軌跡插補(bǔ)控制技術(shù),進(jìn)行測(cè)量軌跡的優(yōu)化整合,自動(dòng)生成合理的測(cè)量運(yùn)動(dòng)軌跡,實(shí)現(xiàn)飛行觸發(fā)測(cè)量

    ·提供多種安全保障方式及具有故障自診斷糾錯(cuò)功能

    ·內(nèi)部通訊采用多重I/O接口及PICS/RS232接口

    ·光柵尺分辨率接口,可任選不同的分辨率

    ·具有溫度補(bǔ)償傳感器接口

    ·21項(xiàng)機(jī)械誤差硬件補(bǔ)償功能.

    帶有三軸聯(lián)動(dòng)操縱桿和按鍵面板的英國(guó)RENISHAW微電腦多功能鍵盤(pán)操縱盒。

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