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特點(diǎn)：

在微電子加工過(guò)程中，特別是在芯片貼裝和絲線鍵合的過(guò)程中，需要對(duì)表面輕微有機(jī)污染或氧化物進(jìn)行清洗，在這種場(chǎng)合下，需要用等離子清洗的方法進(jìn)行清洗。美國(guó)MARCH 公司的等離子清洗設(shè)備在以下器件的制造過(guò)程中能起到很好地清洗作用：光電器件、微波器件、混合電路、MEMS器件、RF模塊、功率器件、傳感器、半導(dǎo)體器件、LED、分立元器件、納米器件、聲表器件

帶有HTP（高吞吐量）架選項(xiàng)的AP-1000等離子系統(tǒng)結(jié)合了可靠性和生產(chǎn)品質(zhì)，證明March 專(zhuān)利的HTP架的優(yōu)勢(shì)。AP-1000 HTP優(yōu)化在RF激勵(lì)源產(chǎn)生的離子的應(yīng)用，使在減少過(guò)程時(shí)間的時(shí)候，提高處理的一致性

主要應(yīng)用：

去除污染物、激活多種應(yīng)用的表面和提高表面粘附力

在醫(yī)療器械樣品里，改變樣品親水性、疏水性和生物相容性

清除印刷電路板鉆孔過(guò)程中產(chǎn)生的樹(shù)脂污染和碳副產(chǎn)物

在晶圓封裝時(shí)，去除表面氧化物，增強(qiáng)引線鍵合和凸塊鍵合強(qiáng)度粘、剝離、刻蝕等

march 等離子體清洗機(jī)

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