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    FEMTO COVANCE-MPR 等離子表面處理系統(tǒng)

    應用于半導體行業(yè):

    真空等離子清洗機

    規(guī)格型號:

    COVANCE-MPR

    庫       存:

    10

    產       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:COVANCE-MPR

    所屬系列:真空等離子清洗機

    COVANCE-MPR 等離子表面處理系統(tǒng) 產品規(guī)格

    真空室:190 × 240 × 160(W × D × H / mm)
    氣 路:標準一路氣體(最多3路氣體,MFC)
    電 源:50kHz,200W
    操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式)
    壓力監(jiān)測:大氣壓~ 1×10-3 Torr
    選配項:電源功率升級(最大300W)
    射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
    粉末處理系統(tǒng)

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    服務熱線

    4001027270

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